全國咨詢熱線

0532-86625732

產品中心

聯系我們

手機: 0532-86625732

郵箱: mamie_chm@126.com

地址: 青島市膠州市上合示范區閩江路60號

反應離子刻蝕RIE

在線訂購

設備名稱 反應離子刻蝕RIE    品牌型號  oxford

設備用途
利用F基氣體產生的plasma,對SiO2和Si3N4進行刻蝕加工

主要技術指標:
可用氣體:Ar、N2、CHF3、NF3、N2O
刻蝕腔體極限真空度: 5×10^-6Torr , 真空漏率 0.5mTorr/min
刻蝕速率: SiO2 ≥30nm/min,SiNx≥30nm/min
刻蝕選擇比:對SiO2>2.5,對Si3N4>1.5
側壁角度:>80℃
加工尺寸:2inch、3inch、4inch、碎片

相關產品

歡迎給我們留言
--
請在此輸入留言內容,我們會盡快與您聯系。
姓名
聯系人
電話
座機/手機號碼
郵箱
郵箱
地址
地址

青島翼晨鐳碩科技有限公司

欧美激情欲高潮视频在线观看