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平臺介紹

青島翼晨鐳碩微納加工平臺隸屬青島翼晨鐳碩科技有限公司,公司獲評國家高新技術企業,擁有超過20項的國際、國內專利,是山東省、青島市、上合示范區、膠州市的重點項目,已投資超過1.6億元。公司與膠州市政府、青島大學共建了光電產學研基地,為技術人員、學生提供專業半導體技術實訓。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺擁有專業的外延生長、電子束曝光、紫外光刻、RIE刻蝕、ICP刻蝕、PVD鍍膜、CVD鍍膜等核心微納加工設備以及相應的配套檢測設備,具備0.1nm垂直外延生長能力、10nm平面圖形加工能力。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺擁有兩千米的百級、千級超凈間環境,是一個從材料外延生長、芯片工藝開發、器件研發制備到性能檢測完整的全流程、多功能平臺。擁有來自國內外知名企業及平臺經驗豐富的專業微納加工工程師≥30人,可以為客戶提供從設計、材料、工藝、檢測全方位的定制化微納加工服務。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺本著開放共贏的合作理念,歡迎高校、科研院所、中小微創業企業等各類科技工作團體前來合作,開展外延代工、工藝代工、科研合作、協助研發、中試和小批量生產、設備共享、超凈共享、人員培訓等相關技術服務。



青島翼晨鐳碩科技有限公司

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